Monitor de referencia de flujo (RFM) molbox
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Descripción general del producto: Monitor de referencia de flujo (RFM) molbox
- Presentación compacta
- Cubre el rango de flujo de 1 sccm a 100 slm con molbloc-L, y hasta 5.000 slm con molbloc-S.
- Seleccione de entre 20 gases diferentes.
- Incertidumbre de medición acreditada de ±0,5% de la lectura hasta un rango de medida de 100:1
- Válvulas interiores para purgado integrado, detección de fugas y apoyo de peso muerto
- Incluye funciones de medición avanzadas, tales como totalizar, media, alto/bajo y desviación
- Control completo gracias al panel frontal y comunicaciones remotas RS232 y IEEE-488
- Mide flujo de masa y de volumen con la presión de referencia ajustable por el usuario las condiciones de temperatura
Especificaciones: Monitor de referencia de flujo (RFM) molbox
Especificaciones de medición de flujo
molbox RFM mide el flujo mediante los elementos de flujo del molbloc. El rango de flujo, la presión operacional utilizable y la presión diferencial para el molbloc-L (o el rango de flujo y el rango de presión absoluta para el molbloc-S) dependen del elemento del molbloc que se utilice y de sus opciones de calibración. Consulte los folletos de rango de molbloc-L y molbloc-S para obtener detalles de la calibración y el rango.
Para rangos del molbloc-L de hasta 3E4, la resolución y la precisión por debajo de 10% FS mejoran con la opción de microrrango. Para el 1E5-L molbloc, la opción de microrrango es necesaria para lograr la especificación.
| molbox RFM | ||
| molbloc-L (rangos de 1E1-L a 3E4-L) | molbloc-S (todos los rangos) | |
| Tasa de actualización de medición | 1 segundo | 1 segundo |
| Intervalo | Para la escala completa del molbloc en función de la presión y del tipo de calibración dependiente del gas (consulte el folleto de rango del molbloc-L) | El flujo relacionado con salida absoluta de 20 a 200 kPa (de 3 a 30 psia) o de 50 a 500 kPa (de 7 a 70 psia) (consulte el folleto de rango del molbloc-S) |
| Resolución | 0,01% FS | ±0,01% de la lectura |
| Linealidad | ±0,23% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,023% FS bajo 10% FS | ±0,25% de la lectura |
| Repetibilidad | ±0,1% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,01% FS bajo 10% FS | ±0,1% de la lectura |
| Precisión1 | ±0,25% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,025% FS bajo 10% FS | ±0,3% de la lectura |
| Estabilidad prevista2 (un año) | ±0,15% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,015% FS bajo 10% FS | ±0,2% de la lectura |
| Incertidumbre de la medición3 | ±0,5% de la lectura entre 10 y 100% FS, ±0,05% FS bajo 10% FS | ±0,5% de la lectura entre 50 y 500 kPa, ±0,5% del flujo @ 50 kPa entre 20 y 50 kPa |
| molbox RFM con opción de microrrango | ||
| molbloc-L (rangos de 1E1-L a 3E4-L) | molbloc-L (solo rangos 1E5) | |
| Tasa de actualización de medición | 1 segundo | 1 segundo |
| Intervalo | De 0 a escala completa del molbloc en función de la presión y del tipo de calibración dependiente del gas (consulte las tablas del molbloc-L) | De 0 a escala completa del molbloc en función de la presión y del tipo de calibración dependiente del gas (consulte las tablas del molbloc-L) |
| Resolución | 0,01% FS, 0,001% FS por debajo de 10% FS | 0,01% FS |
| Linealidad | ±0,23% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,0023% FS bajo 1% FS | ±0,25% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,0125% FS por debajo de 5% FS |
| Repetibilidad | ±0,1% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,001% FS bajo 1% FS | ±0,2% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,01% FS por debajo de 5% FS |
| Precisión1 | ±0,25% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,0025% FS bajo 1% FS | ±0,32% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,016% FS por debajo de 5% FS |
| Estabilidad prevista2 (un año) | ±0,15% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,0015% FS bajo 1% FS | ±0,2% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,01% FS por debajo de 5% FS |
| Nivel de incertidumbre de la medición3 | ±0,5% de la lectura entre 1 y 100% FS, ±0,005% FS bajo 1% FS | ±0,5% de la lectura entre 5 y 100% FS, ±0,025% FS por debajo de 5% FS |
molbloc-S (todos los rangos)
Las especificaciones son las mismas que para un molbox RFM sin microrrango. El transductor de microrrango se encuentra desactivado siempre que el molbox RFM esté conectado a un molbloc-S.
1Precisión: linealidad, histéresis y repetibilidad combinadas
2 Estabilidad predicha: cambio máximo en cero y amplitud a lo largo de un año para un molbox RFM y molbloc típicos usados en condiciones típicas. Dado que la estabilidad solo se puede predecir, la estabilidad para un molbox RFM específico ha de establecerse mediante la experiencia.
3Incertidumbre de medición: desviación máxima de la indicación de flujo del molbox RFM respecto al valor real del flujo a través del molbloc, incluidas precisión, estabilidad e incertidumbre de medición de calibración estándar de DHI. Las especificaciones de incertidumbre de medición para molbloc solo son válidas para los gases con los se haya calibrado dicho molbloc. Todos los molbloc se calibran para N2. Las calibraciones con otros gases son opcionales. La capacidad de calibración de DHI no se mantiene siempre para todos los gases en todas las designaciones de molbloc. Consulte la disponibilidad antes de efectuar el pedido.
Modelos: Monitor de referencia de flujo (RFM) molbox
molbox RFM
molbox RFM Monitor de referencia de flujo
Incluye:
Manual del usuario, certificado de calibración, cable de alimentación, dos (2) molbox RFM a líneas de presión de molbloc, un (1) molbox RFM a línea de datos de molbloc y dos (2) conectores rápidos directamente mediante presión
Manual del usuario, certificado de calibración, cable de alimentación, dos (2) molbox RFM a líneas de presión de molbloc, un (1) molbox RFM a línea de datos de molbloc y dos (2) conectores rápidos directamente mediante presión
5141-100
molbox RFM, molbloc 5E1-L 10 a 100 sccm
Incluido:
- monitor de flujo de referencia molbox RFM (kits 5141) o molbox RFM-M (kits 5142 y 5144) con líneas de presión molbloc de conexión rápida, cable de comunicación molbloc, cable de red eléctrica y manual de usuario
- Elemento de flujo laminar molbloc 5E1-L
- Sistema de montaje molstic-L, con regulador de presión preciso, una válvula de aislamiento y una válvula de medición de flujo precisa para cada molbloc-L
- Tuberías y adaptadores para conectar el suministro de gas y el dispositivo bajo prueba, incluyendo accesorio de tubo de 0,25 pulg., conexión hembra NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,125 pulg. y conexión macho BSP de 0,25 pulg.
5141-1K
molbox RFM, molbloc 5E2-L 100 a 1.000 sccm
Incluido:
- monitor de flujo de referencia molbox RFM (kits 5141) o molbox RFM-M (kits 5142 y 5144) con líneas de presión molbloc de conexión rápida, cable de comunicación molbloc, cable de red eléctrica y manual de usuario
- Elemento de flujo laminar molbloc 5E2-L
- Sistema de montaje molstic-L, con regulador de presión preciso, una válvula de aislamiento y una válvula de medición de flujo precisa para cada molbloc-L
- Tuberías y adaptadores para conectar el suministro de gas y el dispositivo bajo prueba, incluyendo accesorio de tubo de 0,25 pulg., conexión hembra NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,125 pulg. y conexión macho BSP de 0,25 pulg.
5141-10K
molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 a 10 slm
Incluido:
- monitor de flujo de referencia molbox RFM (kits 5141) o molbox RFM-M ( kits 5142 y 5144) con líneas de presión molbloc de conexión rápida, cable de comunicación molbloc, cable de red eléctrica y manual de usuario
- Elemento de flujo laminar molbloc 5E3-L
- Sistema de montaje molstic-L, con regulador de presión preciso, una válvula de aislamiento y una válvula de medición de flujo precisa para cada molbloc-L
- Tuberías y adaptadores para conectar el suministro de gas y el dispositivo bajo prueba, incluyendo accesorio de tubo de 0,25 pulg., conexión hembra NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,125 pulg. y conexión macho BSP de 0,25 pulg.
5141-50K
molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 a 50 slm
Incluido:
- monitor de flujo de referencia molbox RFM (kits 5141) o molbox RFM-M (kits 5142 y 5144) con líneas de presión molbloc de conexión rápida, cable de comunicación molbloc, cable de red eléctrica y manual de usuario
- Elemento de flujo laminar molbloc 3E4-L
- Sistema de montaje molstic-L, con regulador de presión preciso, una válvula de aislamiento y una válvula de medición de flujo precisa para cada molbloc-L
- Tuberías y adaptadores para conectar el suministro de gas y el dispositivo bajo prueba, incluyendo accesorio de tubo de 0,25 pulg., conexión hembra NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,125 pulg. y conexión macho BSP de 0,25 pulg.
5142-1K
molbox RFM, molbloc 5E2-L 10 a 1.000 sccm
Incluido:
- monitor de flujo de referencia molbox RFM (kits 5141) o molbox RFM-M (kits 5142 y 5144) con líneas de presión molbloc de conexión rápida, cable de comunicación molbloc, cable de red eléctrica y manual de usuario
- Elemento de flujo laminar molbloc 5E2-L
- Sistema de montaje molstic-L, con regulador de presión preciso, una válvula de aislamiento y una válvula de medición de flujo precisa para cada molbloc-L
- Tuberías y adaptadores para conectar el suministro de gas y el dispositivo bajo prueba, incluyendo accesorio de tubo de 0,25 pulg., conexión hembra NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,125 pulg. y conexión macho BSP de 0,25 pulg.
5142-10K
molbox RFM-M, molbloc 5E3-L 0,1 a 10 slm
Incluido:
- monitor de flujo de referencia molbox RFM (kits 5141) o molbox RFM-M (kits 5142 y 5144 ) con líneas de presión molbloc de conexión rápida, cable de comunicación molbloc, cable de red eléctrica y manual de usuario
- Elemento de flujo laminar molbloc 5E3-L
- Sistema de montaje molstic-L, con regulador de presión preciso, una válvula de aislamiento y una válvula de medición de flujo precisa para cada molbloc-L
- Tuberías y adaptadores para conectar el suministro de gas y el dispositivo bajo prueba, incluyendo accesorio de tubo de 0,25 pulg., conexión hembra NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,125 pulg. y conexión macho BSP de 0,25 pulg.
5142-50K
molbox RFM-M, molbloc 3E4-L 0,5 a 50 slm
Incluido:
- monitor de flujo de referencia molbox RFM (kits 5141) o molbox RFM-M (kits 5142 y 5144) con líneas de presión molbloc de conexión rápida, cable de comunicación molbloc, cable de red eléctrica y manual de usuario
- Elemento de flujo laminar molbloc 3E4-L
- Sistema de montaje molstic-L, con regulador de presión preciso, una válvula de aislamiento y una válvula de medición de flujo precisa para cada molbloc-L
- Tuberías y adaptadores para conectar el suministro de gas y el dispositivo bajo prueba, incluyendo accesorio de tubo de 0,25 pulg., conexión hembra NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,125 pulg. y conexión macho BSP de 0,25 pulg.
5144-50K
molbox RFM-M, molblocs 5E2-L y 3E4-L10 sccm a 50 slm
Incluido:
- monitor de flujo de referencia molbox RFM (kits 5141) o molbox RFM-M (kits 5142 y 5144) con líneas de presión molbloc de conexión rápida, cable de comunicación molbloc, cable de red eléctrica y manual de usuario
- Elementos de flujo laminares molbloc 5E2-L y 3E4-L
- Sistema de montaje molstic-L, con regulador de presión preciso, una válvula de aislamiento y una válvula de medición de flujo precisa para cada molbloc-L
- Tuberías y adaptadores para conectar el suministro de gas y el dispositivo bajo prueba, incluyendo accesorio de tubo de 0,25 pulg., conexión hembra NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,25 pulg., conexión macho NPT de 0,125 pulg. y conexión macho BSP de 0,25 pulg.