製品概要: molbox RFM 基準流量モニター
- コンパクトさ
- molbloc-Lで1 sccm～100 slmの流量レンジ、molbloc-Sで最大5000 slmの流量レンジに対応
- 様々な20のガスから選択
- 最大100：1のレンジアビリティで、読み値の± 0.5%の認定された測定不確かさ
- オンボード・パージ、リーク・テスト、および風袋をサポートする内部バルブ調整
- 合計、平均、hi/lo、および誤差などの高度な測定機能
- フロントパネルからの完全な制御とRS232およびIEEE-488のリモート通信
- ユーザー設定可能な基準圧力条件と基準温度条件を用いた質量流量と体積流量の測定
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
仕様: molbox RFM 基準流量モニター
流量測定の仕様
molbox RFMはmolbloc流量エレメントを通して流量を測定します。molbloc-Lの流量レンジ、使用可能な圧力、差圧、またはmolbloc-Sの流量レンジおよび絶対圧レンジは、使用されるmolblocエレメントとその校正オプションに応じて変わります。校正とレンジの詳細については、molbloc-Lとmolbloc-Sのレンジ・シートを参照してください。
3E4までのmolbloc-Lレンジでは、マイクロレンジ・オプションを使用すると分解能および確度が10% FS以下に向上します。1E5-L molblocでは、仕様を達成するためにマイクロレンジ・オプションが必要です。
| molbox RFM | ||
| molbloc-L（レンジ1E1-L～3E4-L） | molbloc-S（すべてのレンジ） | |
| 測定更新速度 | 1 秒 | 1 秒 |
| レンジ | ガスとmolblocの圧力に応じてmolblocのフル・スケールまで 校正タイプによる（molbloc-Lのレンジ・シートを参照） | 流量は20～200 kPa（3～30 psia）の上流絶対圧力または50～500 kPa（7～70 psia）の上流絶対圧力に関連 （molbloc-Sのレンジ・シートを参照） |
| 分解能 | 0.01% FS | 読み値の± 0.01% |
| 直線性 | 読み値の± 0.23%（10～100% FS）、 ± 0.023% FS（10% FS以下） | 読み値の± 0.25% |
| 再現性 | 読み値の± 0.1%（10～100% FS）、 ± 0.0% FS（10% FS以下） | 読み値の± 0.1% |
| 確度1 | 読み値の± 0.25%（10～100% FS）、 ± 0.025% FS（10% FS以下） | 読み値の± 0.3% |
| 予測安定度 2 （1年） | 読み値の± 0.15%（10～100% FS）、 ± 0.015% FS（10% FS以下） | 任意のガス） |
| 測定の不確かさ3 | 読み値の± 0.5%（10～100% FS）、 ± 0.05% FS（10% FS以下） | 読み値の± 0.5%（50～500 kPa）、50 kPaの流量の± 0.5% （20～50 kPa） |
| マイクロレンジ・オプション付きのmolbox RFM | ||
| molbloc-L（レンジ1E1-L～3E4-L） | molbloc-L（1E5のレンジのみ） | |
| 測定更新速度 | 1 秒 | 1 秒 |
| レンジ | ガスとmolblocの圧力に応じて0からmolblocのフル・スケールまで 校正タイプによる（molbloc-Lの表を参照） | ガスとmolblocの圧力に応じて0からmolblocのフル・スケールまで 校正タイプによる（molbloc-Lの表を参照） |
| 分解能 | 0.01% FS（0.001% FS以下） 10% FS | 0.01% FS |
| 直線性 | 読み値の± 0.23%（1～100% FS）、± 0.0023% FS（1% FS以下） | 読み値の± 0.25%（5～100% FS）、 ± 0.0125% FS（5% FS以下） |
| 再現性 | 読み値の± 0.1%（1～100% FS）、 ± 0.001% FS（1% FS以下） | 読み値の± 0.2%（5～100% FS）、 ± 0.01% FS（5% FS以下） |
| 確度 1 | 読み値の± 0.25%（1～100% FS）、 ± 0.0025% FS（1% FS以下） | 読み値の± 0.32%（5～100% FS）、 ± 0.016% FS（5% FS以下） |
| 予測安定度 2 （1年） | 読み値の± 0.15%（1～100% FS）、 ± 0.0015% FS（1% FS以下） | 読み値の± 0.2%（5～100% FS）、 ± 0.01% FS（5% FS以下） |
| 測定の不確かさ 3 | 読み値の± 0.5%（1～100% FS）、 ± 0.005% FS（1% FS以下） | 読み値の± 0.5%（5～100% FS）、 ± 0.025% FS（5% FS以下） |
molbloc-S（すべてのレンジ）
仕様はマイクロレンジのないmolbox RFMと同じです。molbox RFMがmolbloc-Sに接続されている場合、マイクロレンジ・トランスデューサーは無効になります。
1精度：直線性、ヒステリシス、再現性を組み合わせた値。
2 予測安定度：通常の条件下で使用される一般的な molbox RFM と molbloc の 1 年間の最大変化。安定度は予測でしかありません。特定のmolbox RFMの安定度は経験から確立する必要があります。
3 測定の不確かさ：精度、安定度、および DHI 校正標準器の不確かさを含めた molbloc の流量の実際値と molbox RFM 流量計との最大誤差。molblocの測定の不確かさの仕様は、molblocの校正を行ったガスにのみ有効です。すべてのmolblocはN2で校正されています。別のガスを用いた校正はオプションです。DHIの校正能力は、molblocの全タイプについて、すべてのガスに対して常に維持されるわけではありません。ご注文の前に、在庫の有無をチェックしてください。
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
モデル: molbox RFM 基準流量モニター
molbox RFM
molbox RFM 参照フロー・モニター
内容：
ユーザー・マニュアル、校正証明書、電源コード、molbox RFM/molbloc 圧力ライン 2 個、molbox RFM/molbloc データ・ライン 1 個、ストレート・スルー圧力クイック・コネクター 1 個
5141-100
molbox RFM, molbloc 5E1-L 10 to 100 sccm
Included:
- molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
- molbloc 5E1-L laminar flow element
- molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
- Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5141-1K
molbox RFM, molbloc 5E2-L 100 to 1,000 sccm
Included:
- molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
- molbloc 5E2-L laminar flow element
- molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
- Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5141-10K
molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 to 10 slm
Included:
- molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
- molbloc 5E3-L laminar flow element
- molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
- Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5141-50K
molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 to 50 slm
Included:
- molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
- molbloc 3E4-L laminar flow element
- molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
- Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5142-1K
molbox RFM-M, molbloc 5E2-L 10 to 1,000 sccm
Included:
- molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
- molbloc 5E2-L laminar flow element
- molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
- Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5142-10K
molbox RFM-M, molbloc 5E3-L 0.1 to 10 slm
Included:
- molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
- molbloc 5E3-L laminar flow element
- molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
- Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5142-50K
molbox RFM-M, molbloc 3E4-L 0.5 to 50 slm
Included:
- molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
- molbloc 3E4-L laminar flow element
- molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
- Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male
5144-50K
molbox RFM-M, molblocs 5E2-L and 3E4-L10 sccm to 50 slm
Included:
- molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual
- molbloc 5E2-L and 3E4-L laminar flow elements
- molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L
- Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male