molbloc-S ソニック・ノズル・フロー・エレメント

主な機能

最大 6,000 slm のガス流量。
molbloc/molbox™ 校正システムのレンジを拡大し、中流量および高流量で優れた確度を実現。
ソフトウェア内蔵のバージョン 4.0 またはそれ以降の molbox1 端末およびすべての molbox1+ 端末を併用。

製品概要: molbloc-S ソニック・ノズル・フロー・エレメント

特徴：

N2 および空気で最大 5,000 slm のレンジに対応
molbox1+端末または既存のmolbox1およびmolbox RFM質量流量端末とCOMPASSソフトウェアを一緒に使用可能
重量校正によってサポートされた実績のある臨界流ベンチュリ（音速）ノズルの作動原理
汚染に対する感度が極めて小さい
測定の不確かさ：
読み値の±0.125%まで（molbox1+）
読み値の± 0.2%（molbox1）
読み値の± 0.5%（molbox RFM）
空気、N2、Ar、Heおよびその他の校正が可能、湿潤空気密度補正により大気の下での使用をサポート
molbox1+Sまたは他の真空molboxモデルの優れたレンジアビリティ（ターンダウン比10：1）
両方のmolboxの絶対圧トランスデューサーを使用することで上流絶対圧測定が二重化され、不確かさが低減、信頼性が向上
一体型のガス温度調節および測定
従来のmolbloc-L層流エレメントのように継続的かつリアルタイムの読み値
完全に自動化することが可能

molbloc-S のレンジ

molbloc-Sを通る質量流量は、上流絶対圧に直接比例し、下流圧力や差圧とは無関係です。molbloc-Sの流量レンジは、molblocの圧力から流量への変換係数K_Fによって定義されます。K_Fはsccm/kPaの単位で表され、質量流量とmolbloc-Sに送られる上流絶対圧力の関係を定義します。molbloc-Sの校正は、20～200 kPa（3～30 psia）、50～500 kPa（7～70 psia）、または200 kPa～2 MPa（30～300 psia）のいずれかの上流圧力に対応する流量レンジで実行されます。

流量測定が有効であるためには、molbloc-Sのベンチュリ・ノズル口の流量が臨界でなければなりません。つまり、ガスの速度が局所音速と同じになります。背圧比が十分に低いとき、またはBPR（molbloc-Sの上流絶対圧で除算した下流絶対圧）が維持されているときに、臨界流量が達成されます。臨界流量についてmolbloc-Sが許容できるBPRの上限値は、流量のレイノルズ数に応じて約0.5～0.9の間で変動します。

molbloc-Sを通る質量流量は上流絶対圧に比例するので、アプリケーションにおけるmolbloc-Sの流量レンジはBPRの限度によって制限される可能性があります。molbloc-Sのエレメントのレンジを最大化するには、真空ポンプを下流に接続して流動中の下流圧力を下げます。下流圧力が十分な低さに維持されていると、BPRによって制限されることなく、上流圧力と質量流量をmolblocの校正タイプの最小値まで調整することができます。molbloc-Sを下流（真空ポンプなし）大気圧で使用する場合、校正タイプの最大圧力からBPRが現在のレイノルズ数でBPR制限と等しくなる最低圧力値までの上流圧力のレンジでのみmolblocを使用できます。molbox1端末には、BPRの測定機能、BPRが高過ぎる場合にオペレーターに自動的に通知する機能、流量が臨界でない場合の測定を防止する機能が備わっています。

こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。

仕様: molbloc-S ソニック・ノズル・フロー・エレメント

molbloc/molboxの仕様 - 一般
	molbox1+	molbox RFM 明記されていない限り、すべての仕様はmolbox1と同じ
標準使用温度範囲：	15 ～ 35 °C
保存温度レンジ：	-25～35℃
通常使用圧力レンジ：	20～200 kPa（3～30 psia）の上流絶対圧力または50～500 kPa（7～70 psia）の上流絶対圧力、molbox1+Sを使用する場合のみ200～2000 kPa（30～300 psia）
全体的な流量レンジ：	<1～5 000 slm
入口接続部： 1E1-S～1E2-S 2E2-S～2E3-S 5E3-Sおよび1E4-S	1/4 in VCR™ 1/2 in. VCR™ 1
出口接続部： 5E1-S～2E3-S 5E3-S、1E4-S	16 mm（3/4 in.）ISO-KF型の真空フランジ 40 mm（1 1/2 in.）ISO-KF型の真空フランジ
対象となるガス：	窒素（N2）、乾燥空気、湿潤空気、アルゴン（Ar）、一酸化炭素（CO）、ヘリウム（He）、酸素（O2）、二酸化炭素（CO2）、4フッ化炭素（CF4）、エタン（C2H6）、エチレン（C2H4）、フルオロホルム（CHF3）、ヘキサフルオロエタン（C2F6）、水素（H2）、メタン（CH4）、亜酸化窒素（N2O）、プロパン（C3H8）、6フッ化硫黄（SF6）、ブタン（C4H10）、オクタフルオロシクロブタン（C4F8）、キセノン（Xe）
流量測定
レンジ：	molblocのサイズと圧力校正レンジによって異なる（molbloc-Sレンジの表を参照）
必要な背圧比：	レイノルズ数に応じて0.4～0.9
校正ガス：	標準：乾燥空気オプション：N2（標準空気校正と置き換えるか追加として）、Ar、H2、He、N2O。特定のレンジにおけるこれらのガス、または他のガスの利用については、工場にご相談ください。 *乾燥空気の校正は湿潤空気を扱うために必要
molbloc-Sの圧力校正レンジ：	低圧力（LP）： 20～200 kPa（3～30 psia）の上流絶対圧力標準圧力（SP）： 50～500 kPa（7～70 psia）の上流絶対圧力高圧力（HP）： 200～2 MPa（30～300 psia）の上流絶対圧力 * 高圧力校正はmolbox1+S端末と一緒の場合のみ使用可能 * 流量測定の仕様はmolblocのフル・スケールの10～100%で有効
分解能：	FSの± 0.0015%	読み値の± 0.01%
確度：	読み値の ± 0.06 %	読み値の± 0.30%
予測安定度（1年）：	読み値の ± 0.05 %	任意のガス）
測定の不確かさ	任意のガス）プレミアム校正：読み値の± 0.125%	読み値の± 0.5%（50～500 kPa）

こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。