molboc-L 層流エレメント
主な機能
- 流量レンジは 1 sccm ～ 100 slm。
- molbloc の流路とは、molbloc 本体のピストンとそこにぴったりと合った円筒穴の間にできる溝のことです。
- ギャップのサイズを変化させることで、異なる流量レンジが達成され、より大きなボディがより高い流量レンジに使用されます。
製品概要: molboc-L 層流エレメント
特徴：
- 既存のmolbox1+端末およびmolbox RFM質量流量端末とCOMPASSソフトウェアを一緒に使用可能
- 汚染防止フィルターを内蔵
- 一体型のガス温度調節および測定
- 継続的かつリアルタイムの読み値
- 完全に自動化することが可能
- 可動部なし
molbloc-Lのレンジ
molblocのサイズは、公称流量インピーダンスに相対的な値で指定します。窒素ガスが250 kPa（36 psia）の上流絶対圧力、50 kPa（7.5 psid）の差圧でmolblocを流れているとき、公称インピーダンスは公称流量レンジに帰着します。実際のところ、molblocの流量レンジは公称流量レンジとは大きく異なることがあります。ガスの密度と粘性の違いやmolblocの使用圧力校正オプションが違うことによって、差が生じます。
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
仕様: molboc-L 層流エレメント
| 仕様 - molbloc-Lの標準校正 - molbox1+端末使用 | |
| 測定更新速度 | 1 秒 |
| レンジ | ガスとmolblocの圧力に応じて0からmolblocのフル・スケールまで 校正タイプによる（セクション1.2.5.1.3を参照） |
| 分解能 | フル・スケールの 0.0015 % |
| 直線性 | 読み値の± 0.05%（10～100% FS）、 ± 0.005% FS（10% FS以下） |
| 再現性 | 読み値の± 0.05%（10～100% FS）、 ± 0.005% FS（10% FS以下） |
| 確度 1 | 読み値の± 0.07%（10～100% FS）、 フル・スケールの ± 0.007 %（フル・スケールの10 % 以下のレンジ） |
| 安定度2 （1年） | 読み値の± 0.09%（10～100% FS）、 フル・スケールの ± 0.009 %（フル・スケールの10 % 以下のレンジ） |
| 測定の不確かさ 3 | 読み値の± 0.2%（10～100% FS）、 フル・スケールの ± 0.02 %（フル・スケールの10 % 以下のレンジ） |
| （使用するmolblocを校正するN2およびその他のmolbox1+対象ガス） | 1E5 molbloc 読み値の± 0.5%（25～100% FS）、 ± 0.125% FS（25% FS以下） |
| 1 精度：直線性、ヒステリシス、再現性を組み合わせたもの。 2 安定度：通常の条件下で molbox1+ および molbloc を使用した場合の、指定された期間におけるゼロおよびスパンの最大変化。安定度は予測でしかありません。特定のmolblocとmolbox1+の安定度は経験から確立する必要があります。 3 測定の不確かさ（確度）：精度、安定度、および Fluke Calibration 標準器の測定の不確かさを含めた molbloc の流量の実際値と molbox1+ 流量計との最大誤差。 | |
| 仕様 - molbloc-Lのプレミアム校正 - molbox1+端末使用 | |
| 測定更新速度 | 1 秒 |
| レンジ | ガスとmolblocの圧力に応じて0からmolblocのフル・スケールまで、校正タイプによる（セクション1.2.5.1.2を参照） |
| 分解能 | フル・スケールの 0.0015 % |
| 直線性 | 読み値の± 0.05%（10～100% FS）、 ± 0.005% FS（10% FS以下） |
| 再現性 | 読み値の± 0.05%（10～100% FS）、 ± 0.005% FS（10% FS以下） |
| 確度 1 | 読み値の± 0.07%（10～100% FS）、 フル・スケールの ± 0.007 %（フル・スケールの10 % 以下のレンジ） |
| 安定度2 （1年） | 読み値の± 0.03%（10～100% FS）、 フル・スケールの ± 0.003 %（フル・スケールの10 % 以下のレンジ） |
| 測定の不確かさ 3 | 読み値の± 0.125%、10～100% FS、 フル・スケールの ± 0.0125 %（フル・スケールの10 % 以下のレンジ） |
| （使用するmolblocを校正するN2およびその他のmolbox1+対象ガス） | 1E5 molbloc-Lのプレミアム校正は使用不可 |
| 1 精度：直線性、ヒステリシス、再現性を組み合わせたもの。 2 安定度：通常の条件下で molbox1+ および molbloc を使用した場合の、指定された期間におけるゼロおよびスパンの最大変化。安定度は予測でしかありません。特定のmolblocとmolbox1+の安定度は経験から確立する必要があります。 3 測定の不確かさ（確度）：精度、安定度、および Fluke Calibration 標準器の測定の不確かさを含めた molbloc の流量の実際値と molbox1+ 流量計との最大誤差。 | |
| 仕様 - molbloc-Lの標準校正 - molbox RFM端末使用時 | |
| molbloc-L（レンジ1E1-L～3E4-L） | |
| 測定更新速度 | 1 秒 |
| レンジ | ガスと molbloc の圧力に応じて 0 から molbloc のフル・スケールまで、校正タイプによる（molbloc-L レンジ・シートの表を参照） |
| 分解能 | 0.01% FS |
| 直線性 | 読み値の ± 0.23% （10 ～ 100% FS）、± 0.023% FS （10% FS 以下） |
| 再現性 | 読み値の ± 0.1% （10 ～ 100% FS）、± 0.01% FS （10% FS 以下） |
| 確度 1 | 読み値の ± 0.25% （10 ～ 100% FS）、± 0.025% FS （10% FS 以下） |
| 予測安定度 2 （1年） | 読み値の ± 0.15% （10 ～ 100% FS）、± 0.015% FS （10% FS 以下） |
| 測定の不確かさ 3 | 読み値の ± 0.5% （10 ～ 100% FS）、± 0.05% FS （10% FS 以下） |
| マイクロレンジ・オプション付きのmolbox RFM | ||
| molbloc-L（レンジ1E1-L～3E4-L） | molbloc-L（1E5のレンジのみ） | |
| 測定更新速度 | 1 秒 | 1 秒 |
| レンジ | ガスと molbloc の圧力に応じて 0 から molbloc のフル・スケールまで、校正タイプによる（molbloc-L の表を参照） | ガスと molbloc の圧力に応じて 0 から molbloc のフル・スケールまで、校正タイプによる（molbloc-L の表を参照） |
| 分解能 | 0.01 % FS、0.001 % FS （ 0.001 % 以下）、FS （10% FS 以下） | 0.01% FS |
| 直線性 | 読み値の± 0.23%（1～100% FS）、 ± 0.0023% FS（1% FS以下） | 読み値の ± 0.25% （5 ～ 100% FS）、± 0.0125% FS （5% FS 以下） |
| 再現性 | 読み値の ± 0.1% （1 ～ 100% FS）、± 0.001% FS （1% FS 以下） | 読み値の± 0.2% （5～ 100% FS）、± 0.01% FS （5% FS 以下） |
| 確度 1 | 読み値の ± 0.25% （1 ～ 100% FS）、± 0.0025% FS （1% FS 以下） | 読み値の ± 0.32% （5 ～ 100% FS）、± 0.016% FS （5% FS 以下） |
| 予測安定度 2 （1年） | 読み値の ± 0.15% （1 ～ 100% FS）、± 0.0015% FS （1% FS 以下） | 読み値の ± 0.2% （5 ～ 100% FS）、± 0.01% FS （5% FS 以下） |
| 測定の不確かさ 3 | 読み値の ± 0.5% （1 ～ 100% FS）、± 0.005% FS （1% FS 以下） | 読み値の ± 0.5% （5 ～ 100% FS）、± 0.025% FS （5% FS 以下） |
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
モデル: molboc-L 層流エレメント
1E1 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
5E1 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
1E2 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
2E2 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
5E2 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
1E3 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
5E3 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
1E4 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
3E4 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
1E5 VCR-V-Q
molbloc マス・フロー・エレメント
各 molbloc は、以下の品目を付属して納品されます。
- 保管・輸送ケース
- 軟性の再使用可能な VCR O リングおよび取り付け説明書
- 全モデル低圧窒素（N2）校正
別の N2 校正や N2 以外のガスによる校正については、別のラインアイテムとして注文する必要があります。 - 米国標準技術研究所（NIST）に対するトレーサビリティおよび測定された校正データを記述した校正報告ション
molbloc-S校正オプション
低圧 20 ～ 200 kPa （3 ～ 30 psia）
molbloc の上流側（プレミアムまたは標準を指定）
標準圧力 50 ～ 500 kPa （7 ～ 70 psia）
molbloc の上流側（プレミアムまたは標準を指定）
高圧 200 ～ 2000 kPa （30 ～ 300 psia）
molbloc の上流側（プレミアムまたは標準を指定）
molbloc-L 下流
動作圧力（絶対）：
molbloc下流の大気圧
プレミアムまたは標準を指定
molbloc-L 高圧
動作圧力（絶対）：
molblocの325～525 kPa（48～76 psia）上流
molbloc-L 低圧
動作圧力（絶対）：
molblocの250～325 kPa（36～48 psia）上流
プレミアムまたは標準を指定